引言
CCD(Charge Couple Device)中文名为“电荷耦合器件”,是一种以电荷包的形式存储和传递信息的半导体表面器件。1969年,美国贝尔电话实验室的w.S.Boyle和G.E.Smith在探索磁泡器件的电模拟过程中,产生了电荷耦合器件原理的设想,并在实验中得到验证。最初,CCD只是作为存储器件使用,但后来依靠已经成熟的MOS集成电路工艺,CCD技术得到迅速的发展。
CCD的工作原理
CCD是一种大规模集成电路工艺制作的半导体光电元件,它在半导体硅片上制有成千上万个光敏元,产生与照在它上面的光强成正比的电荷。CCD基本构成单元是MOS电容器,它以电荷为信号,通过对金属电极施加时钟脉冲信号,在半导体内部形成储存载流子的势阱。当光或电注入时,将代表信号的载流子引入势阱,再利用时钟脉冲的规律变化,使电极下的势阱作相应变化,就可以使代表输入信号的载流子在半导体表面作定向运动,再通过对电荷的收集、放大,把信号取出。
CCD的发展与应用
世界各科技强国在CCD研制、开发及应用领域都投入了大量的人力、物力和财力,展开了广泛而深入的工作。美国是研究CCD技术最早的国家,在该领域一直处于领先地位。Bell实验室是CCD研究的发源地,并在CCD传感器和电荷信号处理研究方面保持优势。通用电器(GEC)、无线电(RCA)和柯达fKODAK)等著名公司的研究机构在面向军、民用及工艺研究居于领先地位。日本是CCD生产大国,产量居世界之首。索尼(SONY)、NEC等公司的CCD研发很快,已成为美国强大的竞争对手。[1]
1974年,美国RCA公司的512×320像元面阵CCD摄像机首先问世。近年来, 随着大规模、超大规模集成电路工艺的发展,CCD研制水平不断提高,阵列元素不断增加,CCD摄像机的性能也越来越好,并且CCD芯片的成品率不断提高,器件尺寸不断缩小。CCD图像传感器的像素高密度集成化己有了显著的突破,线阵CCD的像元数己从128个发展到15,000个,而且面阵CCD的像元数也高达9000×9000个,像元尺寸己做到79m以下。为满足医学应用,己出现了像元面积为7mm2、内含4~8万像素的阵列、用于胃镜和肠镜中的小面积成像器件。美国LOCKHEED MATIN公司1996年制作出像素尺寸8.75¨m×8.759m、9000×9000像素的CCD;而像素尺寸10pm×10pm、像素规模10000×10000的CCD已于2000年完成设计。日
本索尼、夏普等公司制作的CCD器件的最小像素尺寸缩小到2.5/.tm×2。50m。
CCD相机
CCD相机在信号处理、影像传感和数字存储等三大领域中应用广泛。
CCD相机的优点
它具有以下优点:
(1)体积小,集成度高,结实耐用及功耗低。
(2)在一个较宽的波长范围内有着近乎完美的灵敏度。
(3)工作条件是从低照度到非常高照度都能使用。
(4)有很好的稳定度和线性度。
(5)由于硅阵列结构的固定及紧凑,生成的图像不会变形。[2]
像增强型CCD相机(ICCD)
ICCD的.组成
日前国际上火多数ICCD相机产品都是由像增强器,光纤耦合元件和CCD阵列三个部件构成。
像增强器由光电阴极,微通道板和荧光屏组成.
在ICCD相机中,光子入射到像增强器的光电阴极,发射出的电子经微通道板倍增后,经荧光屏转换成光子。输出的增亮图像经光纤面板或光锥耦合CCD阵列上。CCD阵列探测并将图像读出。
ICCD的优点
像增强型相机有以下优点:
选通:像增强器光电阴极可在5ns的时间间隔内,完成开关动作,因而可起到电
子开关的作用。
增益:像增强器的电子增益可高达10000:1.这可使微弱光电信号被放大至超过
CCD的读出噪声。
光纤耦合元件可实现从一发光平面表面到CCD阵列表面,高效的光学耦合.光纤耦合形式的耦合效率一般为:50~60%(透镜系统约为10%).光纤耦合不限于l:1的传像,光锥可提供5:l的缩放比.
1:1光纤耦合的另一个优点是,不会产生透镜系统中存在的光晕,畸变和长程串话现象.
国外ICED相机应用现状
在国外,ICCD相机被应用于以下诸多领域:
1.弹上下视系统[3]
资料及分析结果显示,美制巡航导弹的下视系统的成像器,是由超_二代或
三代像增强器,光锥和ICCD阵列耦合组成的ICCD相机。
2.星基探测系统
(1)火箭尾气探测系统:
该探测系统中使用的紫外尾气探测仪(UVPI),由两台并列,共享通同一望远装置的ICCD相机组成.该仪器己获得近紫外/可见光火箭尾气的高清晰图像.该火箭尾气探测系统的工作平台,低能量大气补偿实验(LACE)卫星。
(2)空间碎片探测系统:
该星载探测系统由一小的距离选通脉冲激光器,和高增益ICCD相机组成.用于无太阳闪烁的条件下,小的空间碎片的在轨探测。在约800m的距离上,可探测到lmm的空间碎片。
3.头盔显示器
安装有ICCD相机的一体化头盔,使得战斗机,攻击机和直升机驾驶员能够在微光条件下,观察和显示目标.
4.x射线相机
x射线相机由x射线像增强器,光纤耦台元件,和CCD阵列构成.在医学上,x射线相机的摄像用x射线剂量,是普通x射线摄像方法的1/lO~1/50,并可实现遥测诊断:在工业探伤方面,除上述优点外,还具有探伤速度快,输出亮度高和探伤质量好的特点。
5.条纹相机
条纹相机由内装MCP结构的高灵敏度条纹管,光纤耦合元件,和CCD阵列构成.条纹相机是测量皮秒级瞬变光学现象的最适用、最优越的仪器。 此外.ICCD相机还被应用于天文观测和显微观查等领域。
结论
随着CCD相机的迅速发展,CCD相机给人类社会带来了巨大的利益,帮助人类实现了很多以前没法实现的梦想,有效地推动了人类社会的进步。我们也相信在全世界科技人员的共同努力下,CCD相机必将继续有着重大突破进展。
参考文献:
[1] 杜昊。科学级CCD的图像采集系统设计与实现
[2] 金峥。CCD相机的控制与高速图像数据传输技术
[3] 郑焕东。像增强型CCD相机(ICCD)综述
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